申请公布号：CN110749629A
申请公布日：2020.02.04
发明人：徐迎庆、路奇、杨佳伟、贾艳红
摘要： 本发明实施例提供一种MEMS气体检测系统及方法，该系统包括：传感器阵列集成电路板、控制?？楹偷魑履？?；传感器阵列集成电路板包括多个MEMS气体传感器和至少一个多路复用模块；调温模块用于对MEMS气体传感器进行加热；多个MEMS气体传感器采集气体信息后，通过多路复用?？?，发送给控制模块；控制?？橛糜诳刂贫嗦犯从媚？椋袢EMS气体传感器采集的气体信息，并发送至上位机进行分析。由于使用MEMS气体传感器，体积小，传感材料使用量会大大降低，且导电率相对较高，从而传感器电阻的动态范围较高，精度较高。通过多路复用?？榉⑺透刂颇？?，有效减少控制?？榈男畔⑼肥浚蠓档土耸萁涌谡加檬?。
